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(1)真空度要求。對橡膠接頭最基本的要求就是能達(dá)到所需要的真空度,包括系統(tǒng)本身的極限真空度和被抽器件所能達(dá)到的真空度。一般來說,器件內(nèi)部能達(dá)到的真空度低于系統(tǒng)的極限真空度,所以選擇排氣臺橡膠接頭時,應(yīng)該保證系統(tǒng)的極限真空度比器件所要求的真空度高。系統(tǒng)的極限真空主要取決于真空橡膠接頭的極限真空度,橡膠接頭的密封性和去氣的徹底性。
(2)系統(tǒng)應(yīng)該具有所需要的抽氣速率。抽速的大小決定了器件排氣的時間,提高抽速就可以縮短排氣時間,提高勞動生產(chǎn)率。金屬結(jié)構(gòu)的微波管在排氣中會放出大量氣體,也必須有足夠的抽速及時把零件放出的氣體排走,減少其他零件再次吸附氣體和引起陰極中毒的可能。但是,抽速應(yīng)與被抽器件的容積相適應(yīng),過大的抽速會增加設(shè)備成本以及、電等消耗,相應(yīng)增加器件的成本,造成浪費(fèi)。系統(tǒng)的抽速不僅取決于真空橡膠接頭的抽速,還與系統(tǒng)的連接管道以及真空閥門等零件的導(dǎo)通能力有關(guān)。
(3)橡膠接頭應(yīng)該結(jié)構(gòu)簡單、可靠,盡可能操作維護(hù)方便,希望噪聲低、無污染、成本低。為了滿足上述要求,必須根據(jù)器件的大小、復(fù)雜程度、所用材料等實際情況,綜合考慮各方面的因素,合理選擇真空橡膠接頭、真空計、真空閥門、真空管道以及其他裝置。